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氣浮平臺(tái)的工作原理

來源: 時(shí)間:2021-11-24 10:34:33 瀏覽次數(shù):

氣浮平臺(tái)有氣浮直線平臺(tái)與氣浮(旋轉(zhuǎn))轉(zhuǎn)臺(tái)兩類。氣浮平臺(tái)的核心原理是由空氣軸承結(jié)合電控元件構(gòu)成的精密位移平臺(tái),基于空氣軸承的原理,讓負(fù)載板浮在氣浮導(dǎo)軌或氣浮軸承上,實(shí)現(xiàn)無摩擦、無振動(dòng)的平滑運(yùn)動(dòng)。

氣浮平臺(tái)有氣浮直線平臺(tái)與氣浮(旋轉(zhuǎn))轉(zhuǎn)臺(tái)兩類。氣浮平臺(tái)的核心原理是由空氣軸承結(jié)合電控元件構(gòu)成的精密位移平臺(tái),基于空氣軸承的原理,讓負(fù)載板浮在氣浮導(dǎo)軌或氣浮軸承上,實(shí)現(xiàn)無摩擦、無振動(dòng)的平滑運(yùn)動(dòng)。

氣浮平臺(tái)的氣浮直線導(dǎo)軌常見的形式有:

1. 重力平衡式氣浮導(dǎo)軌;

2. 閉式氣浮導(dǎo)軌;

3. 永磁預(yù)載式氣浮導(dǎo)軌;

4. 真空吸附式氣浮導(dǎo)軌。

常見的氣浮孔結(jié)構(gòu)為:

1. 小孔節(jié)流結(jié)構(gòu);

2. 多孔質(zhì)結(jié)構(gòu)。

氣浮平臺(tái)的高直線度和平面度依賴于氣浮導(dǎo)軌,材質(zhì)分為鋁合金、大理石及碳化硅陶瓷等,研究其高壓氣膜的壓力分布、氣源壓力、節(jié)流器、均壓槽深度等,找到了zui優(yōu)氣膜剛度時(shí)的參數(shù)區(qū)間有著出色的性能精度,行程300mm直線度和平面度的誤差在1μm以內(nèi),氣浮平臺(tái)的承載能力也非常的出色,在市場(chǎng)上已經(jīng)逐漸得到大家的認(rèn)可。


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