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氣浮轉(zhuǎn)臺是一種什么樣的設(shè)備?

來源: 時間:2021-11-24 10:35:47 瀏覽次數(shù):

事實上,在科研和生產(chǎn)中都能見到一些專用的氣浮臺設(shè)備,這些專用設(shè)備在使用過程中能有效地保證其精確度,與機械式轉(zhuǎn)臺相比,氣浮臺作用更大,能更好的保證精度,但見過許多設(shè)備之后,大概不知道它到底有什么優(yōu)點,我想看看這個氣浮轉(zhuǎn)臺是什么?

事實上,在科研和生產(chǎn)中都能見到一些專 用的氣浮臺設(shè)備,這些專 用設(shè)備在使用過程中能有效地保證其精 確度,與機械式轉(zhuǎn)臺相比,氣浮臺作用更大,能更好的保證精度,但見過許多設(shè)備之后,大概不知道它到底有什么優(yōu)點,我想看看這個氣浮轉(zhuǎn)臺是什么?

氣浮轉(zhuǎn)臺是利用軸承腔內(nèi)空氣壓力導入,使轉(zhuǎn)軸懸浮于空氣中,并能平滑旋轉(zhuǎn),使轉(zhuǎn)軸在空氣中懸浮,通過軸承腔引入空氣壓力,使導流間隙特別小,保證轉(zhuǎn)軸懸浮,從而獲得較高的軸向和徑向跳動誤差。高速、高精度、無摩擦、無磨損、不潤滑、速度穩(wěn)定、無噪音。氣浮轉(zhuǎn)盤具有許多優(yōu)點,越來越多地使用氣浮式軸承來代替?zhèn)鹘y(tǒng)的機械軸承。

氣浮轉(zhuǎn)臺作為一種典型的超精密機械,從誕生起就受到了人們的廣泛關(guān)注,其中包括微光刻技術(shù)、數(shù)控加工、生命科技、納米面形測量,高精密機床研發(fā)等領(lǐng)域,是超精密定位、探測及精 確移動載體平臺,為超精密加工工藝技術(shù)的研究開發(fā)拓展了一個領(lǐng)域,可以很好的解決高精度零件的加工、檢驗等問題。

具有多年的精密機械設(shè)計、加工、裝配等專 業(yè)經(jīng)驗,瑞邦精控從設(shè)計上研究高壓氣體流動規(guī)律、壓力分布、轉(zhuǎn)臺精度分離方法等問題。從壓力分布、氣源壓力、節(jié)流器、均壓槽深等方面,確定了高壓氣膜剛度下各參數(shù)的范圍。在氣浮臺研制中的關(guān)鍵技術(shù)突破,為高精度零件加工、檢測、超精密加工工具的開發(fā)奠定了技術(shù)基礎(chǔ)。完成了氣浮平臺的設(shè)計與制造,并在100nm范圍內(nèi)實現(xiàn)了1角秒的定位精度。

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